三大存储原厂与SEMI磋商机器人充电标准化

三星电子、SK海力士、美光与SEMI组建RX联盟，磋商晶圆厂机器人充电系统标准化，先确保充电设备结构兼容，再将机器人电量信息接入制造执行系统统筹工作与充电时间，以提升老旧晶圆厂自动化水平。

三星电子、SK海力士、美光与SEMI组建RX联盟，磋商晶圆厂机器人充电系统标准化，先确保充电设备结构兼容，再将机器人电量信息接入制造执行系统统筹工作与充电时间，以提升老旧晶圆厂自动化水平。